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激光技術在電子領域的新革命


    電子元器件產業是電子工業的支撐產業,是電子工業發展的基礎。它們是組成電子設備的基本單元,屬電子工業的中間產品。元器件產業發展的快慢、元器件的技術水平和生產規模,不僅直接影響整個電子工業的發展,而且對發展信息技術,改造傳統產業,提高現代化技術裝備水平,促進社會科技進步都具有重要意義。 
  過去的數年時間內,激光已經在微電子加工方面展示了其自身特有的優勢。隨著電子元器件向微型化和密度化發展,激光加工也將在這一行業得到越來越多的應用。
  原理:激光微調是利用激光可聚焦成很小的光斑,能量集中,有選擇的氣化部分材料來制造微電子元器件的一種方法。
  特點:用激光對電阻、電容進行精密微調,加工時對鄰近的元器件熱影響極小,不產生污染;宜于計算機控制,加工速度快、效率高,可連續監控;與常規微調方法相比,還具有精度高、在線性好和阻值不隨時間變化等優點。
  激光微調消除了影響各種集成電路精度的種種限制。激光光束能精確的定向、定位在最小的尺寸區域內,并以規定的形式結合小的熱作用區,可對薄膜元件進行精密單件微調。加工中沒有中間(化學)過程并可在大氣中作業,可實時檢驗結果,并實現激光加工過程的自動化。

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